技術(shù)文章
Technical articles滿量程流量范圍(N2) | 5SCCM~10SLM |
控制范圍 | 2~100%F.S. |
閥類(lèi)型(及閥初始狀態(tài)) | 電磁調(diào)節(jié)閥(常閉) |
準(zhǔn)確度 | ±1.5%F.S. |
線性 | ±0.5~1.5%F.S. |
重復(fù)度 | ±0.2%F.S. |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤7sec |
作溫度范圍 | 5~45℃ |
作壓差 | 0.1~0.5MPa |
耐壓 | 3MPa |
漏氣率 | 1×10-8atm.cc/sec He |
密封材料 | 氟橡膠(或氯丁橡膠) |
電插頭形式 | DB15 pin(Female) |
接頭選擇 | VCR 1/4"或φ4hose、φ6hose Swagelok 1/4"或φ6、φ3 |
重量 | 1.1Kg |